دستگاه برش لیزر UV نیمه هادی با هوا خنک 355 نانومتر

       دستگاه لیزر برش سنسور

1.خلاصه

دستگاه برش مقاومت لیزری Wuhan Questt ASIA Technology Co., Ltd. به طور ویژه برای صنعت مدار فیلم ضخیم و مدار فیلم نازک توسعه و تولید شده است.پیرایش منبع (تنظیم مقاومت) و پیرایش فعال (تنظیم عملکرد مدار) عمدتاً برای برش با دقت بالا مدارهای مجتمع نازک، لایه ضخیم، مدارهای مجتمع هیبریدی و ماژول های الکترونیکی مختلف استفاده می شود که شامل صنایع زیر می شود:

l lAutomotive Electronics

l حسگرها

l الکترونیک ارتباطات

l صنعت نظامی در تحقیقات علمی است

l پزشکی

l الکترونیک صنعتی

l هوافضا

دستگاه های برش مقاومت لیزری تولید شده توسط شرکت ما به طور مستقل از سیستم کنترل اندازه گیری هسته، سیستم نرم افزاری و غیره توسعه یافته اند و دارای کلیه حقوق مالکیت معنوی مستقل هستند که می توانند راه حل های کاربردی جامع برش مقاومت لیزری را به مشتریان ارائه دهند.

2.مدل تجهیزات و عملکرد

دستگاه پیرایش لیزری سری LT7 یک دستگاه پیرایش مقاومت لیزری با پیکربندی بالا است که توسط Wuhan Questt راه اندازی شده است.محصولات سری LT7 از لیزر ویژه پیشرفته برای پیرایش مقاومت لیزر استفاده می کنند.

دقت بالای تنظیم مقاومت

• کل دستگاه دارای دقت تنظیم مقاومت بالایی است و دقت تنظیم مقاومت ثابت و عملکرد بالا است.
• lLT7 از لیزر ویژه ای برای اصلاح مقاومت لیزری استفاده می کند که یک پرتو لیزر با کیفیت پرتو بالا و عرض خط بسیار ظریف ارائه می دهد و اثر حرارت لیزر کم است.
• حالت کنترل دقیق منحصر به فرد، فناوری استخراج سرعت متغیر اختصاصی.
• lانواع عملکردهای برش چاقویی با تنظیم مقاومت.

تنظیم مقاومت سریع

• این نرم افزار عملکرد تنظیم درشت و تنظیم تنظیم دقیق را دارد که می تواند رابطه متناسب بین تنظیم درشت و تنظیم دقیق را با توجه به ویژگی های مقاومت تنظیم کند که به طور موثر سرعت تنظیم مقاومت را تحت فرض اطمینان از دقت بهبود می بخشد.
• lزمان اندازه گیری با سرعت بالا، زمان اندازه گیری تک تنها 25 us است.
• مکانیسم گام و تکرار با دقت بالا: با استفاده از یک پلت فرم موتور خطی، سرعت حرکت و شتاب سریع است.می تواند تنظیم مقاومت یک چرخه مدارهای چند واحدی را تحقق بخشد.
• بالابر برد کاوشگر با سرعت بالا: به طور موثر کارایی پردازش را در فرآیند تنظیم مقاومت چرخه ای مدارهای چند واحدی بهبود می بخشد.

عملکرد قوی

• lبا عملکرد برنامه نویسی نرم افزار قدرتمند در صنعت، می تواند با تنظیمات مختلف مقاومت و تنظیم عملکرد ماژول های الکترونیکی سازگار شود و به راحتی نیازهای ویژه مشتریان و عملکرد خودکار بالا را درک کند.
• علاوه بر مقاومت اولیه و اندازه گیری ولتاژ، با ماژول های ویژه خارجی، سیگنال اندازه گیری می تواند سیگنال های جریان، فرکانس، وارونگی و سایر سیگنال ها باشد.
• l کنترل خودکار برنامه ای توان لیزر، حرکت، محدوده اندازه گیری و غیره قابل تحقق است.
• lProbe محور Z، حرکت کنترل خودکار موتور محور Z با فوکوس لیزری، قابل برنامه ریزی.
• عملکرد پایگاه داده قدرتمند، کل فرآیند تولید ثبت و قابل ردیابی است.
• lعملکرد هشدار محصولات فاقد صلاحیت می تواند به طور موثری از ورود محصولات فاقد صلاحیت به فرآیند بعدی جلوگیری کند.
• l مختصات موقعیت یابی در زمان واقعی از طریق تصویر به دست می آید که کار با آن آسان است و دقت موقعیت یابی محصول را بهبود می بخشد.

قابلیت اطمینان و پایداری بالا

• اجزای اصلی برای اطمینان از کیفیت وارد می شوند
• lاستفاده از پایه گرانیتی ویژه: می تواند به طور موثر لرزش اینرسی ناشی از شروع، توقف و شتاب میز کار را کاهش دهد.در عین حال، می تواند ثبات دمای دستگاه را حفظ کند.

هزینه های عملیاتی و نگهداری کم

• راندمان بالا، مصرف انرژی کم و صرفه جویی در هزینه

راندمان تبدیل الکترواپتیکی لیزری به 25٪ می رسد و میانگین مصرف برق روزانه کمتر از 10 درجه است که 1/10 لیزر حالت جامد پمپ شده با لامپ فلاش سنتی است.استفاده طولانی مدت می تواند باعث صرفه جویی زیادی در مصرف انرژی، کاهش انتشار کربن، عمر طولانی، کارایی بالا، پایدار و بدون نیاز به تعمیر و نگهداری، کاهش زمان از کار افتادگی شود.

3.محلول لیزر لیزر

• اصل برش مقاومت لیزری

اصل برش مقاومت لیزری استفاده از یک پرتو لیزر بسیار ظریف برای ضربه زدن به مقاومت های لایه نازک و ضخیم است و با تبخیر کردن بدنه مقاومت، برش مدارهای فیلم ضخیم و نازک را محقق می کند.اشعه لیزر مقاومت های لایه نازک و ضخیم را طبق برنامه از پیش تعیین شده توسط کامپیوتر برش می دهد و با تغییر اشکال هندسی مقاومت های لایه نازک و ضخیم، مقدار مقاومت مقاومت ها را تغییر می دهد.همانطور که فرآیند برش لیزری پیشرفت می کند، مدار اندازه گیری بلادرنگ تغییرات مقادیر مقاومت مقاومت های لایه ضخیم و نازک را در زمان واقعی نظارت می کند و مقادیر مقاومت مقاومت های فیلم ضخیم و نازک به طور مداوم به مقدار مقاومت هدف نزدیک می شود.یعنی فرآیند پیرایش مقاومت لیزری محقق می شود.

هنگامی که از مقاومت فیلم ضخیم در ماژول الکترونیکی استفاده می شود، اصلاح عملکرد ماژول الکترونیکی را می توان با تنظیم تغییر مقاومت به طوری که سیگنال خروجی ماژول الکترونیکی نیز تغییر می کند، متوجه شد.

برش مقاومت لیزری سطح مقطع رسانا و طول رسانای بدنه مقاومت را تغییر می دهد و می تواند بدنه مقاومت را زیر مقدار مقاومت هدف تا محدوده دقت مورد نیاز برش دهد.

ترسیم طرح کلی تجهیزات (با توجه به شی واقعی)

(1) سیستم لیزر

برای برش مقاومت های فیلم ضخیم و نازک استفاده می شود، این یک "چاقوی سبک" برای برش مقاومتی است.این دستگاه از لیزر ویژه پیشرفته برای تنظیم مقاومت لیزر، با کیفیت پرتو خوب، قدرت اوج بالا و کیفیت برش عالی استفاده می کند.کوچک و فشرده، هوا خنک، با راندمان و قابلیت اطمینان بالا که در لیزرهای دیگر یافت نمی شود.منبع پمپ دستگاه هسته، کریستال، سوئیچ کیو و غیره همگی وارداتی هستند.

لیزر ویژه برای اصلاح مقاومت لیزری

(2).سیستم تعیین موقعیت پرتو لیزر

برای تعیین موقعیت پرتو لیزر و کنترل مسیر حرکت (مسیر برش) استفاده می شود.سیستم گالوانومتر دقیق را اتخاذ کنید.موقعیت پرتو را در جهت X و Y کنترل می کند.زمان تعیین موقعیت پرتو و زمان پیرایش، راندمان کار بالا، سرعت بالا و دقت بالا را کوتاه کنید.

گالووی دقیق

(3) سیستم موقعیت یابی تصویر CCD

سیستم تصویربرداری با لنز اختصاصی و CCD.فناوری تصویربرداری کواکسیال لیزری برای اطمینان از همپوشانی نقطه هدف لیزری و نقطه هدف تصویربرداری در محدوده اسکن لیزری استفاده می‌شود.

نرم افزار تشخیص تصویر وارداتی برای دستیابی به موقعیت یابی خودکار تصویر از طریق تطبیق تصویر استفاده می شود.

(4) پلت فرم حرکت مکانیکی مرحله و تکرار

سیستم موتور خطی دقیق وارداتی پذیرفته شده است و خط کش گریتینگ با حلقه بسته کنترل می شود.دقت حرکت بالا و سرعت سریع است که شتاب حرکت را تا حد زیادی بهبود می بخشد.این می تواند بارگیری و تخلیه راحت و تنظیم مقاومت چرخه ای با سرعت بالا در مدارهای چندگانه را درک کند که کارایی تولید را تا حد زیادی بهبود می بخشد.دارای سرعت بالا و دقت بالا..

(5) سیستم اندازه گیری

اندازه گیری مقاومت از روش سیستم چهار سیمه به اضافه اندازه گیری جریان و اندازه گیری ولتاژ استفاده می کند.دارای چندین منبع جریان ثابت با دقت بالا است و محدوده مربوط به هر مقاومت را می توان به طور خودکار مطابقت داد تا بهترین دقت اندازه گیری را به دست آورد.اندازه گیری مقاومت به طور کلی از پروب های زیر استفاده می کند پروب های مخصوص لحیم کاری تخته برای اندازه گیری استفاده می شود.سیستم اندازه گیری را می توان به طور خودکار توسط یک برد مقاومت استاندارد خارجی کالیبره کرد.رابط GPIB اختیاری برای کنترل یا اندازه گیری ابزار خارجی.

تنظیم عملکرد ماژول الکترونیکی به طور کلی روش های اندازه گیری پروب خاصی را برای ویژگی های محصول فراهم می کند.

(6) سیستم فوکوس لیزری

فاصله کانونی لیزر مستقیماً توسط رایانه کنترل می شود.با تنظیم نقطه صفر فاصله کانونی و وارد کردن ضخامت قطعه کار، می توان به طور خودکار فوکوس را متوجه شد.این عملکرد می تواند تنظیم مقاومت انواع مختلف محصولات مقاومت فیلم ضخیم را تحقق بخشد که محدوده کاربرد و کارایی دستگاه تنظیم مقاومت لیزری را بهبود می بخشد.

(7) حرکت کاوشگر

حرکت پروب توسط یک موتور با سرعت بالا کنترل می شود، فاصله در حال اجرا را می توان خودسرانه تنظیم کرد و عملکرد کنترل برنامه ریزی را می توان تحقق بخشید.

(8) سیستم نرم افزاری

· نرم افزار کاربردی قدرتمند مبتنی بر پلتفرم WINDOWS.

· با عملکرد برنامه نویسی نرم افزار قدرتمند در صنعت، می تواند با تنظیمات مختلف مقاومت و تنظیم عملکرد ماژول های الکترونیکی سازگار شود و به راحتی نیازهای ویژه مشتریان و عملکرد خودکار بالا را درک کند.

· عملکرد پایگاه داده قدرتمند، کل فرآیند تولید ثبت و قابل ردیابی است.

·نرم افزار محصولات فاقد صلاحیت رنگ را تغییر می دهد و عملکرد سریع را برجسته می کند، که می تواند به طور موثری از ورود محصولات فاقد صلاحیت به فرآیند بعدی جلوگیری کند.

· مختصات موقعیت یابی در زمان واقعی از طریق تصویر به دست می آید که کار با آن آسان است و دقت موقعیت یابی محصول را بهبود می بخشد.

· پلت فرم اندازه گیری چند منظوره با برنامه نویسی قابل تحقق است و عملکرد اندازه گیری مقاومت و مرتب سازی را دارد.

4. پیکربندی اصلی یک دستگاه

4.پارامتر فنی

1-سیستم لیزری

• طول موج لیزر: 1064 نانومتر
• lمیانگین توان لیزر: 6W@10KHZ (TEM00)
• اندازه لکه معمولی: 30-40 میکرومتر
• حالت lFocus: کنترل برنامه کامپیوتری

2. سیستم موقعیت یابی پرتو لیزر

• محدوده اسکن لیزری: 60mm x 60mm
• lتکرار دقت موقعیت یابی: 2.5μm
• وضوح حرکت پرتو لیزر: 1μm
• حداکثر سرعت اسکن: 7000mm/s
• lروش موقعیت یابی: موقعیت یابی قابل برنامه ریزی یا موقعیت یابی خودکار تشخیص تصویر

3. سیستم نظارت تصویر

• روش مانیتورینگ: مانیتورینگ کواکسیال لیزری
• lفناوری اختصاصی: فناوری آکروماتیک، لیزر و تصویربرداری در قالب همپوشانی دارند
• میدان دید مانیتورینگ: 4-6 میلی متر (مورب)
• منبع نور: روشنایی LED

4. سیستم اندازه گیری

• روش اندازه گیری مقاومت: برای اندازه گیری ولتاژ جریان اضافه کنید

سیستم چهار سیمه، سیستم دو سیمه کنترل برنامه کامپیوتری

• حالت اندازه گیری مقاومت: تنظیم حالت سه سرعته، کنترل قابل برنامه ریزی
• محدوده اندازه گیری مقاومت: 0.1Ω-100MΩ (رزولوشن 16 بیت)
• دقت اندازه گیری مقاومت:

0.1Ω<Rx <100Ω ±0.02% + 0.5% / Rx

100Ω<Rx <100KΩ ±0.02%

100KΩ< Rx < 100MΩ ±0.02% + 0.05% * Rx

• l سرعت اندازه گیری مقاومت: 25µs
• وضوح ولتاژ lDC: 0.16μV (در شرایط 10mV در مقیاس کامل)
• برد lProbe: 48PIN، هر تعریفی، سازگار با تجهیزات وارداتی ESI
• حرکت برد پروب: کنترل برنامه کامپیوتری
• محدوده اندازه گیری ولتاژ: ± 100 میلی ولت ~ 10 ولت ± وضوح 16 بیت (محدوده های دیگر اختیاری هستند)

5. کامپیوترها و سیستم های نرم افزاری

• lنرم افزار قابل برنامه ریزی، می تواند به طور انعطاف پذیر عملیات خودکار را انجام دهد، با تنظیم مقاومت و تنظیم عملکرد مدار روبرو شود
• تابع lDatabase، تمام داده های تنظیم مقاومت را می توان با قابلیت ردیابی خوب در پایگاه داده برای ذخیره سازی نوشت
• مقاومت را می توان با کنترل دستی تک تراشه کنترل کرد و همچنین می تواند به طور خودکار توسط ماتریس پیوسته (پردازش تراشه مداوم) تنظیم شود.
• تنظیم دقیق مقاومت را می توان با تنظیم روش تنظیم مقاومت نقطه لیزری انجام داد
• با توجه به تفاوت مقدار مقاومت اولیه، پارامترهای تنظیم مقاومت مختلف را می توان برای انجام تنظیم مقاومت انتخاب کرد.

6. گام و تکرار سیستم حرکت مکانیکی

• حالت حرکت: سیستم حرکت خطی موتور
• دامنه حرکت: 300mm*300mm
• lحداکثر اندازه زیرلایه سرامیکی: 150mm*150mm
• وضوح حرکت l: 1μm
• دقت تکرار: ±1μm
• دقت موقعیت یابی: ± 10μm
• حداکثر سرعت: 1000mm/s (بدون بار)
• شتاب lMotion: 1.5G

7. سایر شاخص های فنی

• lروش خنک کننده: خنک کننده هوا
• lولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت AC فشار هوا: <0.4 مگا پاسکال مصرف برق کل دستگاه: 2500 وات